真空热压炉是在真空环境下，对置于限定形状模具中的松散粉末或对粉末压坯加热的同时对其施加压力，使材料成型与烧结同时完成的种工艺。主要用于提高粉未冶金制品的性能。适用的材料有金属基复合材料以及各类靶材等。
真空热压烧结的优势点
1、热压时，粉料处于热塑性状态，形变阻力小，所需成型压力小。
2、由于加热、加压同时进行，有助于粉末颗粒的接触、扩散与流动传质，能降低烧结温度，缩短烧结时间，从而抑制晶粒长大。
3、热压烧结在真空条件下完成，制取的烧结体孔隙率低、致密化程度高、且晶粒细小，产品的机械性能和电学性能良好。
真空热压炉进行热压烧结致密化过程分解
、烧结前期:孔隙连通
包括烧结初期和中期。压力使颗粒接触区发生塑性屈服;扩大的接触区出现幂指数蠕变，引起物质迁移;原子与空位发生体积扩散和晶界扩散:位错也经攀移引起晶界滑动。烧结体密度迅速提升。
二、烧结末期:孔洞孤立
孔洞位于品界处，且不排除晶内微孔。此时，烧结前期的机制仍旧存在，但蠕变与扩散成为烧结的主要机制，材料收缩缓慢，产品致密化程度高。烧结后期闭气孔压力增大，抵消了表面张力的作用，晶界扩散作用削弱，而体积扩散速度缓慢，致使后期收缩困难，热压可提供外在推动力来补偿被抵消的表面张力，促使烧结继续进行。热压条件下，固体粉料可能表现出非牛顿型流体性质，当剪应力超过其屈服点时将出现流动，致使传质速度加大，闭气孔通过物料的粘性或塑性流动得以消除。
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